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產(chǎn)品型號：TG1100F廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2025-04-19訪 問 量：18
產(chǎn)品分類
CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
OsakaVacuum日本大阪真空高性能渦輪分子泵
OsakaVacuum日本大阪真空高性能渦輪分子泵
輕巧設(shè)計(jì)
節(jié)能
迅速啟動
使用破控功能可迅速停止
耐大氣沖擊能力強(qiáng)
經(jīng)400次大氣沖擊驗(yàn)證
多種通信模式
符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE
用途
半導(dǎo)體制造
電子槍排氣，離子源排氣
FPD制造
表面處理，表面改質(zhì)
各種電子部件的制造
分析，試驗(yàn)裝置
管球制造，光學(xué)部件制造
加速器，放射線設(shè)施，核聚變研究
熱處理
研究開發(fā)
※排放腐蝕性氣體時(shí)，請選擇耐腐蝕性的TG-M，TG系列。
| 型號 | TG1100F | TG1100F*A*-60/TG1100F*W* | |
| 吸氣口法蘭 | VG200/ISO-B200/CF200 | ||
| 排氣速度 | N2 (L/s) | 1100 | |
| N2(附帶金屬保護(hù)網(wǎng)) (L/s) | 1000 | ||
| H2 (L/s) | 720 | ||
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 | |
| H2 | 1×104 | ||
| 極限壓力 | (Pa/Torr) | <1×10-6/<7.5×10-9 | |
| 最大氣體流量※1※2 | (sccm) | 330 | 860 |
| 啟動時(shí)間※2 | (min) | 7-9 | 5.5-7 |
| 停止時(shí)間※2 | (min) | 27-32 | 12-15 |
| 允許輔助壓力 | (Pa/Torr) | 330/2.5 | |
| 推薦輔助泵 | (L/min) | ≧250 | |
| 安裝角度 | 任意 | ||
| 重量 | VG?ISO-B/CF(kg) | 28/27 | |
| 控制器型號 | TC1104 | TC1103※3 | |
※1：輔助泵的容量是500L/min情況下的最大容許流量
※2：電源型號不同的話規(guī)格也不同。(標(biāo)準(zhǔn):TC1104)
※3:空冷需要更換空冷風(fēng)扇(TG800F***-60)
[ 使用環(huán)境溫度 ]
極限壓力保證環(huán)境溫度是10～23℃。另外，容許環(huán)境溫度在空冷情況下是10～32℃，水冷情況下是10～40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時(shí)容許冷卻水溫是10～35℃。
[ 對應(yīng)氣體種類 ]
由于排氣的氣體種類不同，可能導(dǎo)致泵內(nèi)零件的老化。關(guān)于對應(yīng)的氣體種類請咨詢銷售人員。
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