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產(chǎn)品型號：TG70F廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2025-04-19訪 問 量：21
產(chǎn)品分類
CLASSIFICATION
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詳細介紹
Osaka Vacuum大阪真空小型耐振動渦輪分子泵
Osaka Vacuum大阪真空小型耐振動渦輪分子泵
H2最大壓縮比達到了105，適用于排放輕氣體
在高倍壓的情況下也可以連續(xù)運轉(zhuǎn)，排氣性能安定
輔助泵可以使用隔膜泵，實現(xiàn)了設(shè)備的小型化以及減少成本！
擁有將電源控制器與分子泵一體化和電源口控制器與分子泵獨立化的兩種產(chǎn)品
360度任意角度安裝
耐振動，可移動正在運轉(zhuǎn)的真空泵
用途
半導(dǎo)體制造
電子槍排氣，離子源排氣
FPD制造
表面處理，表面改質(zhì)
各種電子部件的制造
分析，試驗裝置
管球制造，光學(xué)部件制造
加速器，放射線設(shè)施，核聚變研究
熱處理
研究開發(fā)
※排放腐蝕性氣體時，請選擇耐腐蝕性的TG-M，TG系列。
| 型式 | TG70F | |
| 吸氣口法蘭 | ISO-R63/CF63 | |
| 排氣速度 | N2 (L/s) | 70/75 |
| N2(保護金網(wǎng)付) (L/s) | 65/70 | |
| H2 (L/s) | 40/45 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 1×105 | |
| 極限壓力 | ISO-R(Pa/Torr) | <5×10-7/<3.8×10-9 |
| CF (Pa/Torr) | <1×10-7/<7.5×10-10 | |
| 最大氣體流量※1 | 自然風(fēng)冷 N2 (sccm) | 1 0 |
| 強制風(fēng)冷 N2 (sccm) | 2 0 | |
| 啟動時間 | (min) | 2-2.5 |
| 停止時間 | (Pa/Torr) | 1200/9 |
| 推薦輔助泵 | (L/min) | ≧25 |
| 安裝角度 | 自在 | |
| 重量 | ISO-R/CF(kg) | 3/5 |
| 控制器型號 | TC75（一體型）※2 | |
| 輸入電壓（V） | DC24V | |
| 所需最大電力（W) | 120W | |
※1：輔助泵的容量是25L/min情況下的最大容許流量
※2：可選擇泵和控制器一體型(TC75)或者是分離式型(TC76)
[ 對應(yīng)氣體種類 ]
由于排氣的氣體種類不同，可能導(dǎo)致泵內(nèi)零件的老化。關(guān)于對應(yīng)的氣體種類請咨詢銷售人員。
[ 使用環(huán)境溫度 ]
極限壓力保證環(huán)境溫度是10～23℃。另外，容許環(huán)境溫度是8～38℃
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