日本ULVAC愛發(fā)科CME-200E/400半導(dǎo)設(shè)備化學(xué)氣相沉積設(shè)備
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)設(shè)備化學(xué)氣相沉積設(shè)備

產(chǎn)品型號：CME-200E/400
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2025-10-14
訪問量：518

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ULVAC愛發(fā)科

愛發(fā)科真空泵熱處理設(shè)備離子注入機(jī) 蝕刻設(shè)備灰化裝置真空沉積設(shè)備化學(xué)氣相沉積設(shè)備濺射設(shè)備

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日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)設(shè)備化學(xué)氣相沉積設(shè)備

單片PE-CVD設(shè)備CME-200E/400

單片式PE-CVD設(shè)備CME-200E/400是適合批量生產(chǎn)的PE-CVD設(shè)備，適合形成硅基絕緣膜、阻擋膜等。

特征

27.12MHz高密度等離子工藝
SiH ₄型：SiO ₂、SiNx、SiON、a-Si、TEOS 型：可提供 SiO ₂薄膜
可使用NF _{3 +Ar 等離子體清潔腔室}
可配備用于有機(jī)EL低溫成膜的加熱器
通過托盤傳送支持最大尺寸為□200mm的電路板（CME-200E）（支持CME-400：300×400）

目的

功率器件
LED、LD、高速器件
有機(jī)EL
太陽能電池
微機(jī)電系統(tǒng)

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