日本ULVAC愛發(fā)科SV-200 SV-4540 SV-6040 大型設(shè)備濺射SV-9045
日本ULVAC愛發(fā)科大型設(shè)備濺射SV-9045

SV系列是立式間歇式濺射裝置。有磁盤壓模專用的SV-200，以及可處理大量基板的轉(zhuǎn)盤式。

產(chǎn)品型號：SV-200 SV-4540 SV-6040
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2025-10-14
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ULVAC愛發(fā)科

愛發(fā)科真空泵熱處理設(shè)備離子注入機(jī) 蝕刻設(shè)備灰化裝置真空沉積設(shè)備化學(xué)氣相沉積設(shè)備濺射設(shè)備

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詳細(xì)介紹

日本ULVAC愛發(fā)科大型設(shè)備濺射SV-9045

間歇式濺射設(shè)備SV系列

特征

SV-4540、6040和9045為轉(zhuǎn)盤式，具有較大的電路板裝載能力，非常適合中小型或小批量、多品種生產(chǎn)。
SV-200 圓盤壓模機(jī) 鎳膜沉積專用設(shè)備，超緊湊、全自動、高產(chǎn)量。

目的

在各種基材上沉積電極膜、絕緣膜和介電膜

規(guī)格

	SV-200	SV-4540	SV-6040	SV-9045
標(biāo)準(zhǔn)排氣系統(tǒng)	8"低溫泵	12"低溫泵	12"低溫泵	16"低溫泵
極限壓力	6.7e-5Pa	6.7e-5Pa	6.7e-5Pa	6.7e-5Pa
車廠方向	邊	邊	邊	邊
成膜面積均勻性靜轉(zhuǎn)	Φ200mm±5%	L300mm±10%	L300mm±10%	L400mm±10%
基材加熱	沒有任何	250℃	250℃	250℃
控制系統(tǒng)	自動的	自動的	自動的	自動的
不包括選項SV-200	渦輪泵		非水冷電極
	油擴(kuò)散泵		APC機(jī)制
	多個同時倉庫		基材換向機(jī)構(gòu)
	下站		反應(yīng)濺射
	常規(guī)陰極
	鐵磁材料陰極
	射頻蝕刻清洗 (SV-4540)
	偏置機(jī)構(gòu)（SV-4540）

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間歇式濺射設(shè)備SV系列

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SV系列是立式間歇式濺射裝置。有磁盤壓模專用的SV-200，以及可處理大量基板的轉(zhuǎn)盤式。