HORIBA堀場蒸汽濃度監(jiān)測儀玉科全新供應

HORIBA堀場蒸汽濃度監(jiān)測儀玉科全新供應

IR-300

蒸汽濃度監(jiān)測儀

金屬有機化學氣相沉積（MOCVD）工藝廣泛應用于發(fā)光二極管、光學器件和其他組建的制造。通過控制溫度、壓力和載氣流速（鼓泡法），液體和固體化學品被輸送到反應室。IR-300 系列可實時測量和報告化學品濃度，為用戶帶來以下優(yōu)勢：

• 優(yōu)化制程控制，生產更多高級器件

• 提高器件成品率并減少廢料

• 提高再現(xiàn)性

• 了解何時需要更換鼓泡器

• 延長 MTTA

• 減少非計劃干預

• 減少高價值的化學品浪費

• 實時監(jiān)測
  快速響應和出色的重復性允許實時跟蹤蒸汽濃度的變化

• 多重校準曲線功能（可選）
  允許測量多達 3 種化學品或量程的濃度

• 多重顯示功能
  IR-300 設備頂部的多重顯示功能為用戶提供了濃度監(jiān)測和前驅體供應管線狀態(tài)的現(xiàn)場檢查能力

• 通信功能
  通過 DeviceNet™、RS485 和模擬通信連接

• 設計簡單緊湊
  該設備的面對面尺寸為 124 毫米，設計緊湊且不受安裝方向限制，易于集成

高光強和長壽命光源與高速信號處理相結合，使 IR-300 系列能夠對化學品濃度的變化做出更快、更可重復的響應。這些特性通過實時在線濃度測量，讓用戶真正了解實際制程。