HORIBA堀場(chǎng)VC-1420半導(dǎo)體緊湊型汽化系統(tǒng)玉科供應(yīng)
HORIBA堀場(chǎng)半導(dǎo)體緊湊型汽化系統(tǒng)玉科供應(yīng)

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詳細(xì)介紹

HORIBA堀場(chǎng)半導(dǎo)體緊湊型汽化系統(tǒng)玉科供應(yīng)

VC 系列

VC 系列能夠在無(wú)載氣的情況下快速汽化純水或其他液體源，組建更緊湊的汽化系統(tǒng)。

HORIBA 可為您提供由 VC 系列和您需要的所有其他組件組成的定制汽化系統(tǒng)：

模型	VC-1420
生成流量*1（TEOS生成時(shí)）	最大5.0 CCM轉(zhuǎn)化率（液相轉(zhuǎn)化率）
支持液體	工作，P(OCH3)3，C6F6
溫度上升	最高150℃
產(chǎn)生的壓力*1	減壓
外部泄漏完整性	1.0×10-8帕·立方米/秒
內(nèi)部泄漏完整性	1.0×10-6帕·立方米/秒
接觸液體的材質(zhì)	316L 不銹鋼（拋光表面）
內(nèi)部加熱器容量	交流 100V 至 120V 70W(35Wx2)
使用的溫度傳感器	K型熱電偶（CA）
耐壓性	1.0MPa（氣壓）
標(biāo)準(zhǔn)配件	液體入口：1/8 英寸 VCR 型外螺紋氣體出口：1/4 英寸 VCR 型內(nèi)螺紋
*1 根據(jù)液體的種類(lèi)而變化。
*CCM 是表示氣體流速（25°C、101.3 kPa 時(shí) mL/min）的符號(hào)。

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