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當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > HORIBA堀場 > 濃度監(jiān)測儀 > CS-100F1HOBIBA堀場 光纖式化學(xué)溶液濃度監(jiān)測儀
產(chǎn)品型號：CS-100F1廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2025-10-14訪 問 量：310
產(chǎn)品分類
CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
HOBIBA堀場 光纖式化學(xué)溶液濃度監(jiān)測儀
HOBIBA堀場 光纖式化學(xué)溶液濃度監(jiān)測儀
光纖式化學(xué)溶液濃度監(jiān)測儀
可以獲得在線實時測量。單個濃度監(jiān)測器能夠同時測量多達(dá)四種類型（化學(xué)品或范圍），使其適用于單個晶圓清潔中的測量。
| 型 | CS-151F1 系列 | CS-152F1 系列 | CS-150F1 型 |
|---|---|---|---|
測量對象 | SC-1 （氨/過氧化 氫水溶液） | SC-2 （鹽酸/過氧化氫 水溶液） | SPM （硫酸/過氧化氫 水溶液） |
| 一個單元最多可提供 4 種化學(xué)溶液或范圍的多重監(jiān)測。 | |||
| 測量原理 | 吸收光譜法 | ||
| 濃度計算 原理 | 溫度補(bǔ)償多變量分析 | ||
| 測量范圍 （質(zhì)量 %） | H2O2： 0.00% 至 5.00% H2O： 94.0% 至 100.0% | HCI：0.00% 至 2.00% H2O2：0.00% 至 2.00% H2O： 96.0% 至 100.0% | H2所以4：70.0% 至 96.0% H2O2： 0.00% 至 10.00% H2O： 4.0% 至 30.0% |
| 重復(fù)性（質(zhì)量 %） （±1% 室溫內(nèi)） | H2O2： ±0.30% H2O： ±1.5% | HCI：±0.15% H2O2： ±0.15 % H2O： ±1.5% | H2所以4：±0.50% H2O2：±0.50% H2O： ±1.5% |
| ?上述列表的重復(fù)性是針對單元類型的。請聯(lián)系我們了解在線比色皿類型的可重復(fù)性。 ?根據(jù)測量范圍，上述列表可能會有所不同。（詳情請參閱我們的網(wǎng)站。 | |||
| 樣品溶液溫度 | 20 到 80：（使用 Inline Cell 時）20 到 30：（使用 Cell Unit 時） | ||
| 測量周期 | 約 3 秒 | ||
| LCD 和輸入的內(nèi)容 | • 第 1 個組件：測得的濃度值 （%） •錯誤代碼 • 第 2 個組件：測得的濃度值 （%） •并聯(lián)濃度警報輸出無效狀態(tài) • 第 3 個組件：測得的濃度值 （%） •串行/并聯(lián)狀態(tài) • 第 1 個和第 2 個組件：濃度警報狀態(tài) •背景補(bǔ)償數(shù)據(jù) | ||
| RS-232C 串行輸入 | • 串行/并聯(lián)狀態(tài)切換 • 并聯(lián)濃度報警輸出狀態(tài) • 測量數(shù)據(jù)傳輸請求（有效/無效） • 第 1 組分和第 2 組分濃度報警設(shè)置 • 目標(biāo)測量溶液切換 | ||
| 并行輸入 | 12 至 30 V DC（光電耦合器絕緣） • 并聯(lián)濃度報警輸出 • 目標(biāo)測量溶液切換 • 背景補(bǔ)償 | ||
| 并行輸出 | 集電極開路輸出（光電耦合器絕緣） • 第一成分濃度報警，4種 開啟時 最大電流： • 第二成分濃度報警，4種DC 5 mA（無內(nèi)部保護(hù)電阻） • 設(shè)備錯誤 關(guān)閉時最大外加電壓：30 V DC • 測量 • 目標(biāo)測量溶液類型 • 背景補(bǔ)償狀態(tài) | ||
| 溶液溫度輸入 | 接線端子連接（M3 端子螺釘） • 鉑電阻溫度傳感器：Pt100（Pt100 傳感器應(yīng)由客戶準(zhǔn)備） | ||
| 模擬輸出 | • 第 1 組分濃度警報，4 種類型：4 至 20 mA • 第 2 組分濃度警報，4 種類型：4 至 20 mA ?我們還支持其他測量范圍。請在訂購時注明。 | ||
| 光纜 | 專用 CS-100F1 系列光纜（25 ±15：安裝溫度） | ||
| 樣品池 | 我們可以為各種化學(xué)溶液提供專用樣品池（在線池或池單元）。 | ||
| 電源 | 100 V 至 230 V AC（單相）±10%、50/60 Hz、約 100 VA | ||
| 尺寸 | 205 （W） x 329 （D） x 269 （H） mm 8.1 （W） x 13.0 （D） x 10.6 （H） 英寸（不包括突出部分） | ||
| 重量 | 約 11 kg | ||
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