HORIBA堀場(chǎng)微流量?jī)?yōu)良性能壓敏質(zhì)量流量模塊

HORIBA堀場(chǎng)微流量?jī)?yōu)良性能壓敏質(zhì)量流量模塊

D700T 系列

優(yōu)良性能壓敏質(zhì)量流量模塊

D700T 是專為關(guān)鍵半導(dǎo)體制造工藝設(shè)計(jì)的優(yōu)良性能壓力不敏感質(zhì)量流量模塊。D700T 采用了 HORIBA CRITERION 基于壓力的流量測(cè)量和控制技術(shù)，以提供行業(yè)的可重復(fù)和準(zhǔn)確的性能。此外，D700T 的特別之處在于利用了具有雙閥結(jié)構(gòu)的高級(jí)流量控制算法，使客戶的氣體輸送系統(tǒng)能夠解決多種挑戰(zhàn)。

• ≤ 100 毫秒的全面快速建立時(shí)間（設(shè)置為 Set、Step up 和 Step-down）

• 入口和出口壓力不敏感的性能

• 優(yōu)良的故障檢測(cè)功能，用于診斷壓力傳感器偏移、閥座泄漏和流量精度變化

• 重復(fù)性在 0.15 %S.P. 以內(nèi)

• 優(yōu)良精度規(guī)格在 0.45 %S.P.* 以內(nèi)（標(biāo)準(zhǔn)：0.8 %S.P.）

• 更寬的工作溫度范圍 （15-60 °C）

• *注：D700T 是單一氣體配置。向 Horiba 詢問規(guī)格。