日本ULVAC愛發(fā)科IH-860PSIC半導體SiC 高溫離子注入機
日本ULVAC愛發(fā)科半導體SiC 高溫離子注入機

產(chǎn)品分類

CLASSIFICATION

查看全部

相關(guān)文章

查看全部

詳細介紹

日本ULVAC愛發(fā)科半導體SiC 高溫離子注入機

SiC 高溫離子注入機IH-860PSIC

這是配備高溫ESC的用于SiC量產(chǎn)的高能離子注入機。

可自動連續(xù)高溫處理注入
可注入高達 350keV 的單價離子和 700keV 的雙電荷離子
（可選支持高達 430keV 的單價離子和 860keV 的雙電荷離子）
雙端站實現(xiàn)高吞吐量
（A系統(tǒng)4"高溫電調(diào)/B系統(tǒng)3"高溫電調(diào)、A系統(tǒng)6"高溫電調(diào)/B系統(tǒng)6"常溫電調(diào)等，規(guī)格可根據(jù)客戶需求訂做愿望）
可進行鏈條注射，減輕操作員負擔
緊湊型設(shè)計
從原型到批量生產(chǎn)，我們提供廣泛的支持。

特別提示：商品詳情頁中（含主圖）以文字或者圖片形式標注的搶購價等價格可能是在特定活動時段下的價格，商品的具體價格以訂單結(jié)算頁價格為準或者是您與商家聯(lián)系后協(xié)商達成的實際成交價格為準；如您發(fā)現(xiàn)活動商品價格或活動信息有異常，建議購買前先咨詢商家。

具體的成交價格可能因商品參加活動等情況發(fā)生變化，也可能隨著購買數(shù)量不同或所選規(guī)格不同而發(fā)生變化，如用戶與商家線下達成協(xié)議，以線下協(xié)議的結(jié)算價格為準，如用戶在上完成線上購買，則最終以訂單結(jié)算頁價格為準。

產(chǎn)品咨詢